Aangeboden diensten
Analyse van elektrische kenmerken: DCUBE-SCM-draaggolfdistributie, CAFM-stroomdetectie, opladen van 3D NAND-interface
Oppervlaktemorfologie en defectdetectie: beeldvorming van oppervlaktemorfologie op nanoschaal, lokalisatie en analyse van defecten, ondersteuning voor procesoptimalisatie
Structuurinspectie op nanoschaal: inspectie van nanodraden en nanobuisjes, inspectie van nanopatronen, evaluatie van de prestaties van nanoapparaten
Inspectie van de verpakkingsstructuur: analyse van halfgeleidermateriaalkarakteristieken, nieuw materiaalonderzoek, analyse van materiaalinterfacekarakteristieken
Karakteristieke analyse van verpakkingsmateriaal: inspectie van het oppervlak van het chippakket, inspectie van de interne structuur van het pakket, detectie en analyse van pakketdefecten
Doelklanten
Halfgeleiderwafelfabrieken, FAB's en verpakkingsfabrieken
Testnormen
ASTM E2530: AFM-morfologiemeetmethode
SEMI MF1812: AFM-testgids voor oppervlakteruwheid van halfgeleiders
Dienst Achtergrond
De markt voor atomaire krachtmicroscopen (AFM) maakt een aanzienlijke groei door als gevolg van de toenemende vraag naar nanotechnologie en beeldoplossingen met hoge- resolutie. De mondiale marktwaarde wordt geschat op 1,75 miljard dollar in 2025 en zal naar verwachting groeien tot 3,02 miljard dollar in 2033, wat neerkomt op een CAGR van 7,09%. De marktvraag komt voornamelijk uit meerdere vakgebieden, waaronder de biowetenschappen, materiaalkunde en halfgeleiders. Bij de productie van halfgeleiders is AFM (Autonomous Motion Detection) cruciaal voor het inspecteren van kenmerken op nanoschaal.
Servicewaarde
R&D-waarde
Screening en optimalisatie van nieuwe materialen: Versnelt de screening van nieuwe halfgeleidermaterialen (optimalisatie van de hoge-k diëlektrische laaginterface), levert microstructuurgegevens, vergemakkelijkt R&D-doorbraken en biedt krachtige ondersteuning voor de ontwikkeling van nieuwe producten in halfgeleiderwafelfabrieken, FAB's en verpakkingsfabrieken.
Lokalisatie van defecten op nanoschaal: De CAFM-module biedt snelle beeldvorming in 10 minuten, waardoor elektrische defecten op nanoschaal nauwkeurig worden gelokaliseerd. Dit verbetert de R&D-efficiëntie, verkort de productlanceringscycli en helpt bedrijven een concurrentievoordeel op de markt te verwerven.
Productiewaarde
Online inspectie en kwaliteitscontrole: ScanAsyst scant en detecteert verontreiniging van het waferoppervlak en mechanische schade automatisch, waardoor real-kwaliteitsmonitoring tijdens de productie mogelijk wordt gemaakt, de productconsistentie wordt gewaarborgd en de productiekosten worden verlaagd.
Aangepaste sondeaanpassing: een aangepaste sondebibliotheek met meer dan 40 sondes die aan verschillende inspectiescenario's kunnen worden aangepast, biedt flexibele inspectieoplossingen om aan diverse productiebehoeften te voldoen en de productie-efficiëntie te verbeteren.
Waarde van foutanalyse
Diagnose van defecten op nanoschaal: beeldvorming met hoge- resolutie en multimodale analyse diagnosticeren nauwkeurig de oorzaken van storingen, waardoor cruciale gegevens worden geleverd voor productverbetering, het risico op storingen wordt verminderd en de productkwaliteit wordt gewaarborgd.
Casestudy
Een halfgeleiderwafelfabriek stuitte tijdens de productie op een probleem met de verontreiniging van het wafeloppervlak en zocht naar een oplossing.
GRGTEST Measurement maakte gebruik van de Dimension ICON6 voor XXnm-procesinspectie. De ScanAsyst-modus van deze apparatuur identificeerde snel de bron van de verontreiniging, waardoor de nauwkeurigheid en efficiëntie van de inspectie aanzienlijk werd verbeterd, waardoor tijdige aanpassingen aan het productieproces mogelijk waren en het probleem kon worden opgelost.
Populaire tags: afm (atoomkrachtmicroscopie) analyse, China afm (atoomkrachtmicroscopie) analysedienstverlener
