Grgtest FIB -technologie maakt nauwkeurige kwaliteitscontrole mogelijk
In fields such as material science, electronic manufacturing, and surface engineering, film thickness measurement is a critical step in ensuring product quality and performance. The accuracy of the film layer's thickness directly impacts the product's reliability, functionality, and lifespan. However, traditional film thickness testing methods often face numerous limitations when dealing with complex and diverse samples and high-precision testing Vereisten .
Het dilemma van traditionele methoden voor het testen van filmdikte
1. Voorbeeldbereidingspiegel Detectiedikte: monsterbereiding is ingewikkeld en de nauwkeurigheid is beperkt
Om de dikte van een monster te meten, moet het eerst worden verzegeld met epoxyhars, vervolgens gemalen en gepolijst met schuurpapier en uiteindelijk gemeten met behulp van een microscoop . Dit proces vereist een hoog niveau van monstervoorbereiding, waardoor geen delaminatie is tussen het filmoppervlak en het zintuiglijk-senseren van het thermisch-senseren, wat een significante hoeveelheid hitte kan beïnvloeden. Filmlaag .
2. xrf Fluorescentiedikte Meting: smal applicatiebereik, onvoldoende nauwkeurigheid
XRF fluorescence thickness measurement must have standard pieces corresponding to the metal and thickness range, and cannot measure the thickness of non-metallic films. At the same time, as a non-destructive test method, the accuracy error is large in the level below 100 nanometers, which is difficult to meet the requirements of high precision detection.
FIB -technologie: doorbraak de beperkingen van traditionele, open een nieuw hoofdstuk van precisiedetectie
GRGTEST maakt gebruik van FIB-technologie (gerichte ionenstraal), die, met zijn unieke werkingsprincipe en belangrijke voordelen, een revolutionaire oplossing biedt voor filmdikte testen {. Deze technologie gebruikt elektromagnetische lenzen om de ionenbalk te concentreren in een extreem klein formaat, wat een zeer precieze en energiek bundelbunge met een hooggrootte bundelt met een hooggrootte Sputeren -effect wordt geproduceerd, waardoor materiaal effectief wordt verwijderd door etsen .
- Voor gevoelige organische films en andere monsters kan FIB -technologie een beschermende laag deponeren, de impact van het etsenproces op het monster aanzienlijk verminderen, het thermische stressprobleem volledig vermijden tijdens epoxy -stolling en ervoor zorgen dat de prestaties van de thermisch gevoelige filmlaag niet worden beschadigd .
- Het probleem van filmuitbreiding wordt fundamenteel vermeden door het gebruik van ionenbundel ets .
- Naast de bekende elementen met beschermende laag, introduceert FIB -technologie geen andere elementen tijdens het testproces en kan de interferentie van externe vervuilingselementen in het monsterbereidingsproces volledig voorkomen tot de analyse van de oppervlakte of interne componenten van de filmlaag .
